二手 APPLIED MATERIALS Endura 5500 #155729 待售

APPLICED MATERIALS Endura 5500是一個革命性的生產反應堆，旨在通過創新的開放式設備方法，使先進材料，包括銅和銅合金的沈積具有成本效益。這種反應堆的設計目的是在高溫和積極的工藝化學（如等離子體蝕刻、聚氯乙烯和聚氯乙烯工藝）下產生值得生產的結果。Endura 5500是一個先進的全晶片多區反應堆，具有溫度控制高達500 °C的大型加熱室，處理時間高達90分鐘每批多達60個晶片。該反應堆的設計旨在優化過程均勻性，具有專有的矢量化和先進的均勻性控制，從而提高產量和產品質量。APPLIED MATERIALS Endura 5500集成了一系列沈積、蝕刻和濺射技術，包括Applied獨特的直列式快速熱處理（iRTP）和全球均勻性控制（GUC）技術。該系統具有廣泛的自動化過程自動化和控制功能,可實現模塊化端到端制造。Endura 5500具有線性和圓形處理室,能夠提供各種晶圓均勻性產率和工藝均勻性。這個先進的反應堆一次可以處理多達3英寸的晶片，材料沈積速率高達2000埃/分鐘或2400埃/分鐘，這取決於其配置。應用材料Endura 5500利用專有的六極管磁性限制來保持過程氣體的限制，減少它們與反應堆壁的反應。Endura 5500還配備了一個全面的流程監視單元,具有數據記錄功能和一個進入所有流程參數的單一視圖窗口,以及一臺基於Web的遠程支持機器,以方便設置和操作。此外,集成的Endura管理工具允許生產設施完全自動化。APPLIED MATERIALS Endura 5500為銅和銅合金沈積以及其他先進材料提供了無與倫比的精度和性能,因為它旨在最大限度地提高生產效率和成本效益。這種創新的反應堆提供了一種具有卓越工藝的高度可靠和生產性的加工解決方案。