二手 APPLIED MATERIALS Endura 5500 #194410 待售

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ID: 194410
晶圓大小: 6"
優質的: 1993
PDC System, 6", missing parts Chambers: (2) standard, (1) wide body Chamber 1: STD-Ta(CLAMP), DURA magnet Chamber 2: Wide-TaSi(CLAMP), DURA magnet Chamber 3: STD-AlCu(CLAMP), DURA magnet Chamber A: PCⅡ(Pedestal) 1993 vintage.
APPLIED MATERIALS Endura 5500是一種反應室,用於沈積、蝕刻、清潔等過程。用於加工半導體、薄膜、陶瓷等材料。Endura 5500有一個特殊的工藝窗口,這意味著它令人印象深刻的等離子體溫度和壓力範圍可用於各種應用。這使得它獨特地適用於許多任務,如蝕刻、離子束銑削、濺射等過程。APPLIED MATERIALS Endura 5500是一種三室設備,意味著它的幾個部件相互連接,但也可以獨立操作。腔室是反應腔室(這是系統的主要部分)、鎖載室(用來裝卸樣品)和熱處理腔室(用來控制處理氣體)。該單元為真空兼容(VC),能夠承受1 x 10-6毫巴的底壓。反應室還部署了復雜的多邊形掃描,從而能夠有效利用可用空間,同時優化梁線以提高均勻性。Endura 5500的高功率電源對於需要高脈沖功率或更高峰值電流的應用非常有效。它具有每英寸皮帶長度不到1000W英寸的超低功耗,是市場上能效最高的系統之一。APPLIED MATERIALS Endura 5500配備10.4英寸觸摸屏顯示屏,為用戶提供成熟的遙控器。通過其直觀的圖形用戶界面,用戶可以控制機器的所有過程變量。該工具結合了最新的安全功能,並配備了故障監控資產,可以檢測任何錯誤並提醒操作員註意問題。Endura 5500具有許多功能,使其非常適合各種任務。它是FM(功能性材料)準備好了,並且有能力使用各種氣源,例如氫氣和氙氣來清潔腔室表面。它還具有結合石英晶體沈積監測的能力,並提供各種形狀和大小的血漿處理細胞,以實現完美的蝕刻或沈積。總之,APPLIED MATERIALS Endura 5500是半導體加工的優良模型.其先進的功能,包括多邊形掃描和能效,使其成為一個強大而可靠的工具,用於諸如蝕刻和沈積等任務。各種安全特性和直觀的用戶界面使其成為工業應用的理想選擇。
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