二手 APPLIED MATERIALS P 5000 #129972 待售

APPLIED MATERIALS P 5000是一種最先進的等離子體增強型化學氣相沈積（PECVD）反應器,可提高生產過程中的吞吐量、提高設備性能和卓越的可重復性,最終提高設備質量。該設備提供快速、可重復和精確的產品加工時間,並且可以輕松地從小基板尺寸擴展到大基板尺寸。APPLIED MATERIALS P5000設計用於研發和生產制造環境。系統的主要部件包括腔室、底架、電源和工藝控制器。在腔室內部，源和真空泵供應過程氣體和除去副產物。電源可控制各種PECVD工藝參數,如工藝氣體、射頻功率和壓力。過程控制器存儲過程配方，負責沈積過程中所有不同參數的協調。P-5000室裝有射頻電極和卡盤，以便在沈積過程中固定基板。射頻功率由電源控制，通過精確的溫度控制單元維持卡盤溫度。各種工藝氣體可以單獨供應，也可以作為混合物供應，這是根據所沈積的半導體材料確定的。腔室內部的壓力由渦輪分子泵控制，這有助於確保過程氣體的精確濃度。一旦操作員輸入沈積配方，過程控制器負責管理不同的參數，以確保沈積過程中的可重復性。不斷監測和調整工藝氣體的壓力和流量，以確保最佳材料層的沈積。還對射頻功率、卡盤溫度、壓力進行監控調整，確保裝置均勻性。利用P5000，客戶能夠沈積先進材料如氮化矽、氧化矽、碳化矽等，具有卓越的可重復性。這臺機器還提供了一個集成的蝕刻解決方案，能夠去除不需要的材料或陣列沈積的材料。APPLICED MATERIALS P-5000是先進半導體材料的理想選擇，可用於生產各種電子器件。憑借其先進的功能、高吞吐量和可重復的結果,P 5000是尋求高端性能的工業和研究機構的寶貴工具。