二手 ASM Eagle 10 #293819964 待售
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ID: 293819964
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
Plasma Chemical Vapor Deposition (CVD) system, 8"
2 channels
Process: TEOS
1996 vintage.
ASM Eagle 10是業界領先的高精度非接觸粘合劑。專為微電子、光電、醫療器械組裝等領域的廠商而設計。該粘合劑利用先進的有源熱電偶傳感技術提供了無與倫比的0.25 µm粘結放置精度。創新的閉環設備允許用戶編程鍵合參數，以確保可重復性。它擁有令人印象深刻的0.5秒債券時間、高達20秒債券/秒,以及一個功能強大的用戶友好軟件平臺來配置和管理流程。ASM EAGLE-10粘結頭能夠進行廣泛的垂直和橫向運動,X-Y軸上的範圍可達470mm。該系統提供多達10個動力學軸,允許為任何應用程序定制。憑借其運動範圍，Eagle 10幾乎可以到達粘結區域的任何部分，而不考慮板的尺寸。它還有一個集成對齊的激光單元和一個可選的視覺機器，無窮無盡的精度和可重復性。EAGLE-10可以與ASM集成WC06晶圓更換器獲得專利，以提高生產率和方便的基板轉換。一種獨特的非接觸式拾取和放置工具，它通過吸力來控制基板，以確保在轉移過程中零損傷。Eagle 10 bonding head配備了先進的力傳感器技術,使資產能夠響應真正的材料屬性：粘結溫度、表面光潔度、有機層等等。扭矩和伺服電動機的獨特組合，以及高性能的閉環熱和力控制，確保了精確和可重復的鍵合。最後，直觀的用戶界面簡化了操作員體驗，使調整參數和精確編程過程設置變得容易。ASM Eagle 10易於升級和維護,隨著時間的推移保持其準確性和性能,維護成本較低。
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