二手 ASM EPSILON 3200 #9198737 待售
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已售出
ID: 9198737
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
Chemical vapor deposition system, 12"
Epitaxial reactor
Reduced pressure
Chamber
Gas loops:
Nitrogen (N2) purge
Hydrogen (H2) carrier and purge
Hydrogen chloride (HCl) wafer and chamber etcher
Primary silicon source, dichlorosilane (SiH2Cl2, gas)
Low flow hydrogen chloride (HCl)
Auxiliary silicon source, silane (SiH4)
Germanium source, germane (GeH4)
SMIF System:
(2) ASYST ISO Port
Handler system:
ASYST FI Robot
GENMARK X-Fer robot
Configuration:
General system:
Model: E3200 RP
Left hand
Graphite:
Xycarb
Deep grid self-centering susceptor
Reactor pump:
EBARA
Front end interface:
(2) Load ports (RF): Isoport
(2) FOUP ID Readers (RF)
Side louvered panels / Flat top (Ballroom configuration)
Light tower - 4 Position
User touch screen:
Installation:
Door mounted on wafer transfer module
Single touchscreen
Wafer handling section:
Dual 25 wafer loadlock
Vacuum load locks:
Level 2
Pumps for VLL:
Customer to supply:
EBARA
Bernoulli wand
Reactor module:
HCl Detector-reactor
TEK
Gas control module:
Gases / Range
N2 / 100slm
H2 / 30slm
Low flow HCl / 500sccm
Dopant 1: Diborane / 20/200/200 (20slm Dilution MFC to be non-multiflow)
AUX 1: DCS / 500sccm
AUX 2: GeH4 / 350sccm (1% GeH4 in H2)
AUX 3: CH6Si / 200sccm (20% CH6Si in H2)
AUX 4: SiH4 / 500sccm
AUX 5: Reserve position for future silcore loop
Teed inlet on N-Dopant circuit:
Incoming check valves: 7
UNIT / CELERITY Model 8161 (Digital)
Multi-gas, multi-flow for all flow loops except H2 main and 20slm dilution loop on dopant circuit
Precision vent matching
Mass flow verifier:
Canister: 50 Liters
HCl Detector: Gas module
Power supply:
50Hz / 480VAC
2007 vintage.
ASM EPSILON 3200是一種核反應堆。它使用輕水反應堆（LWR）設備，使其適合於大規模的電力生產。反應堆的主要部件是反應堆堆芯、初級冷卻劑系統和燃料棒。反應堆堆芯由幾百根鈾燃料棒組成的燃料組件組成。核心被設計成包含所有組件的不銹鋼壓力容器包圍。核心被淹沒在一池輕水中，作為初級冷卻劑。這種冷卻劑吸收核心發生的反應所產生的熱量，然後將其轉移到二次冷卻劑上，再將其轉移到渦輪發電機上。除燃料棒外，核心還含有減速劑，減慢了中子分裂鈾原子時釋放的電子。這減慢了核反應的速度，使反應堆不太容易受到與不受控制的鏈式反應相關的風險。燃料棒的密度也可以變化，以進一步控制反應速率。安全性是EPSILON 3200的另一個重要方面。它采用多層次的控制系統，監測反應堆的運行和任何輔助安全系統。這些也可用於在緊急情況下關閉反應堆。此外，反應堆設計為含有任何可能產生的放射性廢物。反應堆既裝有安全殼結構，又裝在二級安全殼單元內。總之，ASM EPSILON 3200是一種輕水反應堆。它使用不銹鋼壓力容器來容納反應堆堆芯的部件，周圍環繞著一池輕水。使用調節器和控制系統確保核心中的鏈式反應保持在安全水平之內，並且在發生事故時安裝了密封裝置。考慮到所有這些因素，EPSILON 3200是一個安全可靠的電源來源。
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