二手 ASM EPSILON 3200 #9366109 待售
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已售出
ID: 9366109
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
EPI Reactor, 12"
CIM: SECS/GEM
GENMARK WHC Robot
ASYST FI Robot
(2) FOUPs
Purifier module
Remote AC Box
Door mounted on wafer transfer module
(25) Dual wafer load locks
BERNOULLI Wand
Front end interface:
(2) Isoport Load ports
(2) FOUP ID Readers
Side louvered panels / Flat top
4-Position light tower
Vacuum load locks
(2) BUSCH BC100
Reactor module:
Detector: HCl
TEK
Gas / Range
N2 / -
H2 / 100 SLM
HCL / 30 SLM
Low Flow HCL / 500 SCCM
Diborane / 20/200/200
AsH3/PH3 / 20/200/200 (with Teed inlet)
DCS / 500 SCCM
Silane / 500 SCCM
GeH4 / 200 SCCM (10% GeH4 in H2)
Pneumatic control
Celerity 8161
Precision vent matching
Mass flow verifier:
Canister: 50 L
Options system: Window 9
Does not include quartz chamber
2006 vintage.
ASM EPSILON 3200是為材料測試、中子射線照相和中子活化分析等應用而設計的先進研究反應堆。它是一個3兆瓦的低功率反應堆，帶有池式水箱和直徑40厘米的堆芯，由20%濃縮的二氧化鈾燃料提供燃料。該池容積為30立方米，反應堆處於亞臨界狀態運行，這意味著需要連續插入控制棒。反應堆由安裝在堆芯頂部的預熱器進行熱保護，中子通量可以使用減速器、濃縮和燃料元素進料來改變。控制系統基於機電系統，有兩個故障安全點和一個邏輯，允許反應堆在任何異常情況下恢復正常運行。安全系統旨在防止操作過程中可能發生的任何事故，如過度加熱、燃料元件熔化、輻射泄漏或安全系統丟失。裝有自動重新啟動和反應堆擾亂系統的應急電源系統符合最高安全要求。EPSILON 3200是為研究核材料、中子活化、樣品照射、中子射線照相、中子散射等中子相關應用而設計的可靠高效的研究反應堆。它能夠提供多能量的高通量中子，用於不同的應用。它易於維護和操作，適合廣泛的研究。
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