二手 ASM Epsilon E2000 #9213662 待售
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ID: 9213662
晶圓大小: 8"
EPI Reactor, 8"
Upgraded by ASM to E2000
Substrates: Si & SOI
Right hand configuration
CRT and keyboard
Dual floppy drive
Chiller: No
External gas cabinet: No
General description:
Single-wafer
High-temperature silicon for wafer preparation to low-temperature
Germanium (SiGe) for forming transistor strain layers
Includes:
Main body B
Control box
Gas cabinet
A/C Rack B
Work station
Misc B parts.
ASM Epsilon E2000是一種專門設計用於先進化學和材料加工的反應器。它的特點是一個裝有中型高能量電子束源的中央腔室。這個束源能夠以多種方式聚焦電子，這取決於實驗的目的。此外，反應堆還包括一個或多個有助於成形光束的磁場，四對用於能量控制和微調的橫向射頻（Radio Frequency）線圈，以及一對用於聚焦和定位電子的線性射頻線圈。Epsilon E2000是一種允許在各種應用中精確控制電子束的裝置。它能夠加速電子的能量高達6.5 MeV，並能以100-500 µm的精度控制光束的位置。ASM Epsilon E2000的設計使得它能夠在各種各樣的環境和設置中運行。它是模塊化的,這意味著可以將其組件配置為適合應用程序的特定需求。此外,該系統的設計目的是在不損壞組件的情況下處理高水平的輻射,並設計為可承受高達150°C的溫度和高達6 x 10-6 mb的低真空壓力。Epsilon E2000可用於多種操作，包括材料加工、離子植入、加速器診斷和核材料分析。它非常適合研究材料的微觀結構和納米結構，表征了無法用常規方法分析的表面特性。此外,它還用於斷層掃描等無損檢測技術,以生成元件內部結構的高分辨率3D圖像。ASM Epsilon E2000反應堆是一種高度通用、安全和可重新配置的裝置。它是一種可靠準確的研究工具，可用於各種需要精確控制和操縱電子束的應用。該系統易於使用，功能廣泛，非常適合研究和工業應用。
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