二手 ASM Epsilon E3200 #9196380 待售
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已售出
ID: 9196380
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
Chemical vapor deposition system, 12"
Epitaxial reactor
Reduced pressure
Chamber
Gas loops:
Nitrogen (N2) purge
Hydrogen (H2) carrier and purge
Hydrogen chloride (HCl) wafer and chamber etcher
Primary silicon source, dichlorosilane (SiH2Cl2, gas)
Low flow hydrogen chloride (HCl)
Auxiliary silicon source, silane (SiH4)
Germanium source, germane (GeH4)
SMIF System:
ASYST Integrated SMIF
Handler system:
ASYST FI Robot
GENMARK X-Fer robot
Configuration:
General system:
Model: E3200 RP
Right hand
Graphite:
Xycarb
Deep grid self-centering susceptor
Reactor pump:
BUSCH DS2000 supply
Front end interface:
(2) Load ports (RF): Isoport
(2) FOUP ID Readers (RF)
Side louvered panels / Flat top (Ballroom configuration)
User touch screen:
Installation:
Door mounted on wafer transfer module
Wafer handling section:
Dual 25 wafer loadlock
Vacuum load locks:
Level 2
Pumps for VLL:
Customer to supply:
(2) BUSCH BC100
Bernoulli wand
Reactor module:
HCl Detector-reactor
TEK
Gas control module:
Gases / Range
N2 / 100slm
H2 / 30slm
Low flow HCl / 500sccm
Dopant 1: Diborane / 20/200/200
Dopant 2: A5H3/PH3 / 20/200/200
AUX 1: DCS / 500sccm
AUX 2 (Reserve position for future silcore loop)
AUX 3: SiH4 / 500sccm
AUX 4: GeH4 / 50sccm (10% GeH4 in H2 with multi gas, multi-flow MFC)
Teed inlet on N-Dopant circuit:
Pneumatic control
UNIT / CELERITY Model 8161 (Digital)
UNIT / CELERITY Model 8161 (Digital)
Multi-gas, multi-flow for GeH4
Precision vent matching
Mass flow verifier:
Canister: 50 Liters
HCl Detector: Gas module
Power supply:
50Hz / 480VAC
2007 vintage.
ASM Epsilon E3200是由ASM Nuclear Technologies設計的發電反應堆。它是下一代反應堆的小型模塊化反應堆(SMR),旨在為潛在能源需求提供安全、高效、經濟高效的解決方案。Epsilon E3200的電力範圍為200 MW,采用整體壓水堆(PWR)一次冷卻技術。反應堆堆芯被高密度硼鋼板墻包圍,內部容納一個包含低鉛間隔柵格、控制棒、燃料通道和鈣鈣管的調節堆芯設備。這確保了反應堆的高效和安全運行。反應堆還配備了無源熱去除系統,允許反應堆在所有電力損失的情況下冷卻。該單元基於重力和自然循環原理,不使用動力。這項尖端技術使ASM Epsilon E3200目前市場上最安全的反應堆之一。Epsilon E3200還包括一個數字儀表和控制機,它允許實時監測反應堆參數。這有助於使反應堆保持峰值效率,並提供任何潛在問題或問題的預警。ASM Epsilon E3200已通過核管理委員會的廣泛安全審查,並獲得高級安全特性認證。Epsilon E3200具有先進的技術和安全功能,非常適合在偏遠地區使用,在這些地區,使用傳統電源的機會可能有限或根本不存在。這使得ASM Epsilon E3200那些尋求高效和安全電源的人的可行選擇。
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