二手 ASM Epsilon E3200 #9196380 待售

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製造商
ASM
模型
Epsilon E3200
ID: 9196380
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
Chemical vapor deposition system, 12" Epitaxial reactor Reduced pressure Chamber Gas loops: Nitrogen (N2) purge Hydrogen (H2) carrier and purge Hydrogen chloride (HCl) wafer and chamber etcher Primary silicon source, dichlorosilane (SiH2Cl2, gas) Low flow hydrogen chloride (HCl) Auxiliary silicon source, silane (SiH4) Germanium source, germane (GeH4) SMIF System: ASYST Integrated SMIF Handler system: ASYST FI Robot GENMARK X-Fer robot Configuration: General system: Model: E3200 RP Right hand Graphite: Xycarb Deep grid self-centering susceptor Reactor pump: BUSCH DS2000 supply Front end interface: (2) Load ports (RF): Isoport (2) FOUP ID Readers (RF) Side louvered panels / Flat top (Ballroom configuration) User touch screen: Installation: Door mounted on wafer transfer module Wafer handling section: Dual 25 wafer loadlock Vacuum load locks: Level 2 Pumps for VLL: Customer to supply: (2) BUSCH BC100 Bernoulli wand Reactor module: HCl Detector-reactor TEK Gas control module: Gases / Range N2 / 100slm H2 / 30slm Low flow HCl / 500sccm Dopant 1: Diborane / 20/200/200 Dopant 2: A5H3/PH3 / 20/200/200 AUX 1: DCS / 500sccm AUX 2 (Reserve position for future silcore loop) AUX 3: SiH4 / 500sccm AUX 4: GeH4 / 50sccm (10% GeH4 in H2 with multi gas, multi-flow MFC) Teed inlet on N-Dopant circuit: Pneumatic control UNIT / CELERITY Model 8161 (Digital) UNIT / CELERITY Model 8161 (Digital) Multi-gas, multi-flow for GeH4 Precision vent matching Mass flow verifier: Canister: 50 Liters HCl Detector: Gas module Power supply: 50Hz / 480VAC 2007 vintage.
ASM Epsilon E3200是由ASM Nuclear Technologies設計的發電反應堆。它是下一代反應堆的小型模塊化反應堆(SMR),旨在為潛在能源需求提供安全、高效、經濟高效的解決方案。Epsilon E3200的電力範圍為200 MW,采用整體壓水堆(PWR)一次冷卻技術。反應堆堆芯被高密度硼鋼板墻包圍,內部容納一個包含低鉛間隔柵格、控制棒、燃料通道和鈣鈣管的調節堆芯設備。這確保了反應堆的高效和安全運行。反應堆還配備了無源熱去除系統,允許反應堆在所有電力損失的情況下冷卻。該單元基於重力和自然循環原理,不使用動力。這項尖端技術使ASM Epsilon E3200目前市場上最安全的反應堆之一。Epsilon E3200還包括一個數字儀表和控制機,它允許實時監測反應堆參數。這有助於使反應堆保持峰值效率,並提供任何潛在問題或問題的預警。ASM Epsilon E3200已通過核管理委員會的廣泛安全審查,並獲得高級安全特性認證。Epsilon E3200具有先進的技術和安全功能,非常適合在偏遠地區使用,在這些地區,使用傳統電源的機會可能有限或根本不存在。這使得ASM Epsilon E3200那些尋求高效和安全電源的人的可行選擇。
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