二手 ASM F120 #9384773 待售
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ID: 9384773
Thermal ALD system
Upto 400°C
(4) Reactors, 4" Single wafers
Deposition:
Al2O3: TMA and H20
TiN/TiO: TiCl and N2/O2
Uniformity: 80 - 90 mm.
ASM F120反應堆是一種粒子床反應堆，用於各種表面改性過程。這個反應堆利用了一個連續流動的微波等離子體過程，它涉及一個微波等離子體場和一個旋轉的顆粒床的組合。這種反應器與傳統的表面改性方法，如化學氣相沈積（CVD）和火焰熱解相比，提供了許多獨特的好處，非常適合表面氧化和塗層、表面鈍化、表面穩定和氮化硼摻雜等應用。ASM F 120反應器由三個主要部件組成--微波等離子體發生器、旋轉顆粒床和工藝室。等離子體發生器利用磁控管產生熱微波等離子體場註入反應堆腔室。旋轉的顆粒床被用來運送等離子體場內的粒子，導致表面改性過程的效率和均勻性更高。向工藝室看，F120反應堆包含一個石英管，該石英管具有封閉的底端、可調節的噴嘴，以及四個用於溫度計、氣體入口、射頻電源連接和其他饋電材料的端口。腔室還有一系列同心石英環和預熱器。這些環產生徑向壓力梯度，預熱器用於在微波將能量傳遞到粒子之前預熱工藝室。F 120反應堆的特性可以通過使用各種參數進行微調，如溫度、壓力、氣體流量、射頻功率等。該反應堆的溫度範圍高達2000攝氏度，能夠在極端條件下運行，並提供更高水平的均勻性和性能。這座反應堆還能夠處理各種材料，包括金屬、塑料和陶瓷材料。總之，ASM F120反應堆是一種用途廣泛、效率高的顆粒床反應堆，用於多種用途和材料。該反應堆利用微波等離子體工藝提供均勻和有效的表面改性，與傳統方法相比有許多好處。ASM F 120反應堆具有在極端條件下運行的能力和加工各種材料的能力，是表面工程和氮化硼摻雜領域用戶的熱門選擇。
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