二手 ASM Polygon 8300 #9004107 待售
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ID: 9004107
晶圓大小: 12"
優質的: 2008
EPI reactor, 12"
ATM front-end and dual FOUP loaders
Pulsar 3000G ALCVD high-k process module
Low profile vessel (LPV) configuration with one LPV vessel per chamber
(8) Liquid level sense for Pulsar (ea. source)
GEM300 host interface software
Increased recipe volume software capability
Multi chamber sequence software capability
Pulse count software upgrade
Interface A software capability (per tool price)
Green to green bundle
Wafer present at gate
Pulsar chamber kit with susceptor
Additional spares kit
Options:
Pulsar chamber kit with susceptor
LPV vessels
Hi-k pump line kit
Ran less than 100 wafers
2008 vintage.
ASM Polygon 8300反應堆是一種牢固安裝、多用途、高壓氣體懸浮反應堆,設計用於聚合物構建塊的作用,用於生產聚合物和進行反應工程實驗。反應堆安裝了機械攪拌器和基於改良流化床原理的氣體噴射設備。反應器由一個圓柱形不銹鋼壓力容器和兩個扁平不銹鋼端法蘭組成。壓力容器提供8升的總內部容積,最大操作壓力為8巴(g),最高可達225 °C。高性能槳和帶氣泡提升裝置的氣體提升系統允許高能量輸入和混合速率,從而實現更快的反應速率和更高的反應選擇性。多邊形8300裝有開放式氣體註入單元。這臺機器由一個位於壓力容器底部的多邊形「氣泡提升」噴射器和一個通向容器頂部的出口管組成,允許在反應堆中包含氣體,而不會造成任何大的壓力損失。反應堆的設計也是為了提供一個安全的工作環境,所有儀器、閥門、泵和電氣部件都集成到容器本身中。壓力容器及其末端法蘭裝有用於溫度和壓力傳感器的標準熱力瓶,以及用於備用安全的安全壓力閥。獨立壓力表指示容器內的刀具壓力。此外,ASM Polygon 8300反應器設計方便,效率最高.所有設備的設計都是為了最大限度地減少熱量和壓力損失,並方便快速啟動時間。此外,反應堆還設計用於自動化運行和過程控制。多邊形8300適用於在活動、連續流動的條件下運行。進料設備由垂直安裝的蠕動泵組成,可輸送試劑和反應產物。綜上所述,ASM Polygon 8300反應堆是一種高效、多用途的反應堆,適用於聚合物合成、反應工程實驗等應用。其開放式氣體噴射模型提供了高能量的輸入和混合率,而壓力容器及其綜合安全設備則保證了運行過程中的安全。其自動化的操作和過程控制能力保證了最大的效率。
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