二手 ASML Frames #293652776 待售

ASML框架是半導體工業中使用的一種反應堆。它是一種用於制造半導體的工具，其元素的模式精確，用於電子元件。ASML框架分為CVD（化學氣相沈積）和PECVD（等離子增強化學氣相沈積）兩種。CVD ASML框架是一種充滿前體氣體的水平真空室。腔室內部是一個在燈絲上方旋轉的晶片，它被加熱以產生熱反應。反應導致預定材料（通常是矽）的薄膜沈積在晶圓表面上，從而形成半導體的後續模式。PECVD ASML框架的工作方式與CVD框架類似。在這個框架中，前體氣體被來自等離子體發生器的放電電離。氣體分子這種增加的反應性導致沈積速率比CVD更快，但限制了可以沈積的薄膜類型。它還需要更高級的元件來維護等離子體，從而導致框架的更高復雜度。在ASML框架類型中,整個過程都發生在真空室中。這是必不可少的，因為不同分子的反應性在很大程度上取決於環境的壓力。由於該過程發生在真空中，沒有空氣可以進入，從而確保只有預定的分子用於沈積過程。晶片由卡盤保持在原位，卡盤將其浸入真空室中，防止其因熱降解而變質。另外，卡盤能夠使晶片靠著燈絲移動，進一步提高了沈積過程的精度。通常，運動由軟件或電子控制。最後,最後一個保證膠片覆蓋均勻的重要部件是一個保護瓶.這個瓶子裝有溶劑，以保護晶片免受沈積過程中產生的高溫的影響。瓶子還能防止空氣中的顆粒沈降在晶圓表面，形成對空氣中汙染物的屏障。總之,框架是半導體工業中必不可少的組成部分.它們允許薄膜的精確沈積，這對於生產可靠和一致的電子元件至關重要。