二手 AVIZA / OMEGA 201 #9396141 待售

AVIZA/OMEGA 201是Zircon Corporation開發的一種反應堆，作為半導體制造和化學的工具。該反應堆使用了多達三個級別的等離子體工藝來實現其期望的結果：低壓化學氣相沈積（LPCVD）、化學等離子體蝕刻（CPE）和化學氣相沈積（CVD）。反應堆是一個圓柱形的裝置，大約高七英尺，寬兩英尺，被封閉在一個由不銹鋼制成的真空室內。AVIZA 201作為大氣壓力等離子體室運行，特別是在感應耦合電子循環中。從外部來看，該反應器有兩個不同的內部過程端口：一個用於加工氣體入口，一個用於真空泵。反應器的內部由電源、真空電源、腔壁和電極組成，以方便電子循環。這些組成部分中的每一個都協同工作以創造所需的結果。OMEGA 201中使用的電源是一種中頻、電壓控制的發電機，能夠提供高達1000瓦的功率。這種動力用於在反應堆室內創造等離子環境。真空電源將腔室向下泵送至20毫巴或以下的壓力，從而為過程提供穩定的大氣環境。腔壁和電極由金屬制成，並塗有耐熱和耐化學降解的材料。電極用於產生電子循環，電能被傳遞到電極，並通過激發過程氣體進入高能狀態而產生等離子體。該等離子體用於在反應器室內產生所需的反應，通過CVD、CPE或LPCVD工藝。201的設計旨在為半導體制造和化學提供臨時和準確的結果。精確的電源和高達三級的等離子體處理為化學反應創造了一個最佳環境，該環境已得到優化，以達到最大收率。該反應堆已成功用於制造半導體和高科技產品。