二手 BROOKS AUTOMATION Backbone-VTS #293639202 待售

BROOKS AUTOMATION Backbone-VTS
ID: 293639202
晶圓大小: 12"
CVD System, 12".
BROOKS AUTOMATION Backbone-VTS是一種反應堆,設計用於處理一系列氣體和液體形式的前體材料。該反應堆的設計目的是提供高精度的高溫,從而能夠高效生產各種材料。來自BROOKS AUTOMATION的Backbone-VTS反應堆利用各種先進技術提供高效的設備,用於工業應用。系統的核心是為了熱均勻性而熱控的旋轉基座。這一基地是一系列crucibles的所在地,每個crucibles都具有高達500 mL的工作能力。為了確保準確性,BROOKS AUTOMATION主幹-VTS反應堆依賴於一個保護良好的溫度控制單元。其冷熱氣體的優化循環使其達到從室溫到高達1200攝氏度的溫度,精度高達其最大範圍的0.2%。溫度可以手動改變,也可以使用反應堆的編程設置。利用編程函數,操作員可以為反應堆預置多達10條溫度曲線,從而在廣泛的工藝參數中實現高效可靠的運行。Backbone-VTS還具有多種控制功能和獨特的狀態監控儀器,允許操作員監控整個反應過程。這包括等離子體發射監測、熱平衡溫度控制、接觸熱電偶或熱電偶溫度控制。同時,額外的過程控制參數如真空壓力、氣流、攪拌速率等都可以通過機器的人性化界面進行調節或監控。總體而言,BROOKS AUTOMATION主幹-VTS反應堆是各種工業應用的高效可靠的工具。憑借其先進的溫度控制資產、一系列監控功能和用戶友好的界面,它為各種前體材料提供了一個快速、簡便的解決方案。
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