二手 BROOKS AUTOMATION Backbone-VTS #9259772 待售

BROOKS AUTOMATION Backbone-VTS
ID: 9259772
晶圓大小: 12"
CVD System, 12".
BROOKS AUTOMATION Backbone-VTS是一種先進的反應堆,用於各種研究和制造應用。它由具有專有模塊化控制旁路架構和低壓高壓閥的真空室組成。該設備旨在優化過程控制和反應堆性能,是中和、加氫和電極制造的理想設備。骨架-VTS可以支持包括CVD、PE、POV和CPC在內的反應。在最小壓力為1毫巴的情況下,反應器能夠準確可靠地再現得到的工藝和材料性能。其高效而堅固的設計,能夠適應各種類型的溫度控制系統和壓力傳感器,提供了必要的靈活性,以適應特定的需求定制過程。反應堆還設有多個獨立運行的淋浴總成,每個總成都裝有一個單獨的燒蝕室和一個集成電源。這樣可以精確控制工藝時間、溫度和壓力參數。此外,先進的耐久性特征被納入設計,使整個反應堆腔室的溫度一致可靠。該單元提供了極其高效的真空控制。它內置的低壓控制使用戶能夠控制內部壓力,消除因過程故障導致的突然壓力下降,並產生卓越的可重復性。此外,集成的冷水和/或熱水循環機器可確保整個反應室的溫度分布均勻。BROOKS AUTOMATION Backbone-VTS還集成了額外的用戶友好功能,如陶瓷尖端石英晶體傳感器、蠕動泵、數字讀出(DRO)工具以及過程容錯和過程容錯過程。多種配件,如手套箱和附加傳感器,可以集成到設計中,允許多反應堆處理配置。上述所有功能都包含在Backbon@@-VTS中,Backbone@@-VTS是為滿足最高質量和性能標準而設計的尖端反應堆。易於安裝和操作,這種強大而高效的資產是所有研究和制造應用程序的理想選擇。
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