二手 CAMBRIDGE NANOTECH Savannah S-200 #293811829 待售

CAMBRIDGE NANOTECH Savannah S-200是一種化學氣相沈積（CVD）反應器，設計用於高通量處理和一致的納米級膜沈積。該設備采用一個帶有密封門的石英反應堆單室，其中裝有高精度晶圓紡絲工藝。S-200能夠精確控制溫度、反應性氣流和壓力參數，實現一致的實驗重復性。S-200利用30-450°C的溫度範圍，0-20 Torr的壓力範圍，以及150-750 mm反應堆能夠選擇的反應氣體。石英反應堆室容納基片晶片、自旋電動機和線性/ms吹掃執行器。反應堆腔室內的一種雙熔爐設計允許同時使用兩種材料，以及對反應物的精確控制。自旋電動機可提供8-20K rpm的自旋速率,從而實現快速沈積時間和精確的厚度控制。反應堆室內有四個氣體進氣口。用戶可以從兩個進氣口選擇反應氣體，允許對不同類型的反應物進行雙重實驗。高精度晶片紡絲工藝可以快速、均勻地沈積材料，而不需要紡絲基材來加快工藝。旋轉後，S-200從反應堆腔室排出未反應氣體，降低殘留反應物反應性，降低薄膜不均勻性。S-200提供了許多實用程序功能,同樣非常適合研發和生產環境。該系統還包括一個功能強大的圖形用戶界面（GUI），用於配置反應堆參數、定義工藝區、設置批運行以及監控沈積歷史。集成的管理和報告工具使用戶可以監控實驗輸出和單元性能,以及文檔研究運行。機器的用戶友好型設計使得訪問詳細的工藝數據變得容易，CAMBRIDGE NANOTECH SAVANNAH S200允許快速的數據分析和操作。薩凡納S-200是一種可靠、精確的CVD反應器，非常適合納米級薄膜沈積。該反應堆提供了快速的加工時間、可選的反應氣體以及廣泛的溫度範圍，使其成為高通量研究和生產應用的理想選擇。