二手 CAMBRIDGE NANOTECH / VEECO Savannah #293590453 待售

CAMBRIDGE NANOTECH/VEECO Savannah是一個堅固、高速的反應堆，設計用於處理各種厚度和尺寸的復合半導體。這座反應堆是許多大學和工業研發實驗室的首選工具。VEECO Savannah提供了一個具有自我校準功能的全自動流程,無需連續手動幹預。可用於多種材料合成、制造、改性過程，如摻雜、外延沈積、蝕刻等。反應堆由四個獨立的氣體通道建成，容量可達九個晶圓。每個晶片由機器人臂連續處理，允許自動切換加工氣體和樣品材料。這樣就能夠對增長速度和溫度等精確因素進行編程和精確維護。CAMBRIDGE NANOTECH Savannah具有低壓過程，這是最先進的外延沈積過程所必需的。它的溫度範圍為100°C-800°C，可以與直流或射頻電源一起使用，使其適合廣泛的應用。為了確保精確的生長控制，薩凡納配備了運行結束檢測器、診斷設備和閉環溫度控制。此外,它還具有方便的晶圓傳輸系統、集成的計量單元和防止整個運行過程中顆粒汙染的防汙染機器。CAMBRIDGE NANOTECH/VEECO Savannah是一個高效、用戶友好的反應堆，專門為化合物半導體材料沈積和其他工藝而設計。VEECO Savannah具有廣泛的工藝參數和精確的生長控制，是半導體研究人員的理想工具，為探索和開發新工藝提供了完美的平臺。