二手 CANON / ANELVA COSMOS I-1201 #293642035 待售

CANON/ANELVA COSMOS I-1201是一種高性能的離子氮化物共註入濺射（INCS）工具,其設計目的是為先進的半導體器件和MEMS等多種應用生產高質量的沈積物。對瞄準系統進行了優化，確保了整個基板區域均勻一致的放電。腔室溫度由30-250°C可調，有利於控制折射率等光學性質。還結合了Diamond-Mesa線圈配置,以產生細線和空間圖樣,最大軌跡寬度可達0.15 μ m。此外，退火裝置允許後處理具有出色的可控性和可重復性。此外，CANON COSMOS I-1201配備了先進的GAS ESCA機，為控制過程參數如壓力、溫度和時間提供了高質量的數據。ANELVA COSMOS I-1201操作簡單可靠，廣泛應用於微電子和光電工業。其精確的控制工具允許更精確的過程，產生更高的產量與改進的設備特性。該資產還可用於太陽能電池和顯示器生產等其他應用。總之,COSMOS I-1201是先進半導體器件制造的理想工具.其先進的特點和精確的控制模型使其成為有興趣生產優質礦床的精密應用的理想選擇。