二手 CANON / ANELVA COSMOS I-1201 #293649672 待售
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ID: 293649672
晶圓大小: 12"
優質的: 2002
PVD System, 12"
For solder bump
CANON ANELVA Cosmos 300 PVD System
(2) CANON ANELVA Unit-875CA Cryopump compressors
System rack
LCD Monitor rack
Controller rack
AC Power rack
Chiller
DC Rack
RF Rack
Cryo He hose
Process chambers:
Chamber-A (SLA-ICP)
Chamber-B, (3) Cooling and gate bulbs
Chamber-C
Chamber-D (Process: Cu)
Chamber-E (Process: Ti)
Chamber-F (Heat)
Dry pump racks:
EBARA AA10N Dry pump (upper stage)
EBARA AA10N Dry pump (lower stage)
Chambers:
Degas
SLA-ICP
Collimated CO
(2) STD-PVD
1022-41205C Channel relay box
1022-33862C Channel relay box
1022-39070C Channel relay box
(19) OMRON EE-SPX613 Liquid level sensors
ULVAC Qulee CGM-052 Gas analyzer
DENKI KOGYO STC-1S Matching control unit
DENKI KOGYO ST-1S Matching network
SMT1000J APC Smart-UPS 1000 LCD, 100 V
SUA1000J APC Smart-UPS 1000 VA USB, 100 V
ULVAC WPB-10-034 Pirani vacuum gauge
OMRON EE-SX674 Photo micro sensor
COPAL ELECTRONICS PG-35-102R-NVC Pressure gauge
Main breaker: 175/225 A
Interrupt current:10 A
Main UPS power supply
Power supply: 200 VAC, 50/60 Hz, 3-Phase, 3-wire (Ground)
2002 vintage.
CANON/ANELVA Cosmos I-1201是一種用於工業濺射過程的真空電弧反應器（VAR）。它是一種緊湊、完全密封、自成一體的裝置，用於控制各種工業材料上的無功和無功金屬、介電、陶瓷塗層的沈積速率。CANON COSMOS I-1201由陽極和陰極之間形成的電弧提供動力，當真空密封的腔室裏裝滿了低壓的氙和氧的混合物。電弧由電流產生，電流從帶負電的陰極流向帶正電的陽極。這種電弧產生等離子體場，允許反應性和非反應性材料從加熱的目標中蒸發，然後沈積在基板上形成所需的工業塗層。ANELVA Cosmos I-1201配備了介質相位發生器,可在無功濺射或無功（磁控管）濺射模式下運行。在濺射模式下操作時，Cosmos I-1201使用磁控管技術制造出高度均勻的塗層，同時消耗的功率比傳統蒸發系統少。磁控管作為腔室的中心部件，其設計極大地影響了濺射塗層的性能和均勻性。封閉電子回旋共振（ECR）系統提供較高的基板表面溫度，大幅降低被侵蝕的目標材料副產物。CANON/ANELVA Cosmos I-1201的真空系統範圍廣闊，在10-4 Pa以下至10-2 Pa以上的壓力下提供操作，真空室的兩個顯著特點是在腔室與旋轉底座之間發現的三鎖密封，提供快速方便的維護和對準。根據膜沈積的類型，CANON Cosmos I-1201可以配備兩個或四個工藝室進行多室操作。陽極冷卻系統以水冷電極和水冷室為基礎，在運行過程中提供高效的熱去除。獲得專利的陽極冷卻和油冷卻系統可防止對陽極的熱損壞，並可在整個目標基板上保持均勻穩定的溫度。ANELVA Cosmos I-1201采用先進技術來確保準確、可重復的過程和安全的操作。最新的軟件，結合多用途架構，讓用戶完全監控、控制、調整沈積過程的諸多參數。此外,集成的現場診斷程序在啟用後會收集有關等離子體參數的信息,包括電流和平均光束功率、熱負載以及目標電流和電壓。總體而言，宇宙I-1201是一種可靠和高效的反應堆裝置，可促進許多工業濺射過程。它由先進的工程解決方案和確保精度、通用性和安全操作的尖端技術組成。
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