二手 CANON / ANELVA COSMOS I-1201 #9292966 待售

CANON/ANELVA COSMOS I-1201是一種基於等離子體的反應器，通常用於表面處理和其他薄膜應用。它配備了10.4英寸的觸摸屏方便操作，以及多個警告系統以確保安全。CANON COSMOS I-1201使用微波產生和維持高溫、高密度的等離子體。該等離子體用於激發、電離和間接加熱目標氣體，而目標氣體又與基材發生反應，形成薄膜。過程中的所有物理參數和目標條件都可以通過觸摸屏面板進行定制，如源功率、氣體流量、溫度、壓力等。為了保證高性能，反應堆配備了先進的系統來監控和維護等離子體參數。ANELVA COSMOS I-1201具有圓柱形排列，反應堆組件對稱地圍繞反應堆中心軸放置。這種構型有助於優化氣室尺寸和等離子體密度，以便高效生產等離子體。反應器室的底座由熱導率低的特殊陶瓷材料制成，以減少過程中的熱損失。等離子體裝置有集中供電、進給系統、控制監控底盤、中央控制系統。圓柱體提供了均勻的等離子體溫度剖面，有效地「密封」了反應堆室免受外界幹擾，並保持了均勻的等離子體參數。COSMOS I-1201等離子體反應堆中使用的射頻源是一種感應型，其頻率可以從1 MHz調節到13.56 MHz。使用較低的頻率有助於更有效地運行流程並減少濺射。整體等離子體參數和工藝條件也可以通過安裝在反應堆上的專用軟件實時監控。該反應器采用氯化物防腐塗層屏蔽，在高濕度條件下達到最佳性能。反應堆在其他面板型反應堆中獨一無二，因為它體積小巧，占地面積小，易於操作的控制界面。CANON/ANELVA COSMOS I-1201等離子體反應堆具有高性能和低能輸出，是許多工業材料加工應用的理想解決方案。