二手 CANON / ANELVA COSMOS I-1201 #9377264 待售

CANON/ANELVA COSMOS I-1201是一種高效、緊湊、強大的蝕刻沈積反應器。它特別適合於金屬、半導體、化合物和電介質的蝕刻和沈積。它能夠以1-30 MHz的頻率提供高達500 W的功率，適用於多種應用，如微加工和薄膜沈積。它被設計為與最常見的設備和材料兼容，使其成為研究實驗室和工業用戶的理想選擇。CANON COSMOS I-1201有一個集成電源和兩個獨立的腔室。第一室是引入工藝氣體的蝕刻室，由氣體面板、閥門和腔室壓力表組合控制。該腔室為最佳等離子體均勻性而設計，易於監測和調整，以確保獲得所需的結果。第二室為沈積室，設計為提供均勻的膜狀性質，如沈積速度、均勻性、精度等。它可以容納任何尺寸和厚度的材料，並且可以結合多種工藝氣體用於不同的應用。ANELVA COSMOS I-1201的另一個特點是E槍電子槍，它提供直接電子束蝕刻和沈積能力。該槍裝有一個自動射頻槍電源，可以可靠的操作和快速、精確的沈積和蝕刻。射頻功率可在很寬的範圍內調節,以便進行基板加熱和退火。為提高工藝精度，可以使用獨立可調的聚焦柵格對電子槍電子進行聚焦和準直。COSMOS I-1201還配備了自動調諧器，用於自動設置射頻發生器的參數。這允許用戶控制等離子體的參數以匹配所需的條件，對於高吞吐量和可重復性特別有用。最後,CANON/ANELVA COSMOS I-1201具有內置的安全系統,並為符合OSHA要求而設計。它包括許多安全功能，如電離報警器、過熱防護和緊急關閉開關。它還有一個低排放過濾系統，以保證手術室的健康工作條件。一個清晰的視圖窗口允許用戶隨時監視進程。綜上所述，CANON COSMOS I-1201是一種高效、緊湊、強大的沈積蝕刻反應堆。它能夠通過精確的控制和廣泛的工藝氣體提供高功率，並且設計用於安全和可靠的操作。它是研究實驗室和工業用戶的理想選擇，一定能提高許多過程的效率和準確性。