二手 CANON / ANELVA COSMOS I-1201 #9397057 待售

CANON/ANELVA COSMOS I-1201是為半導體工業中的蝕刻和沈積等應用而設計的一種反應堆。它是一種離子蝕刻設備，由一個圓柱形的腔室組成，其中放置了源和基板，以及周圍的氣流和其他輔助系統。該室分為一個具有源的主反應室，以及幾個用於氣流控制和輔助功能的次要室。主反應室呈圓柱形，由不銹鋼制成。直徑12英寸，長度16英寸，活動高度12英寸。它能夠在1.3 × 10-4 Pa和0.6 Pa的壓力下運行，可以從室溫加熱到1000攝氏度，加速電壓高達20 kV。腔室的主要成分包括一對靜電離子極和一個離子濾波器。兩極產生一個強電場，使離子被電離並加速向底物，由磁懸浮的樣品架保持在原位。離子過濾器只允許帶電粒子通過，從而控制正在沈積或蝕刻的材料類型。CANON COSMOS I-1201附有一組氣體，如氙氣、三氯化硼、六氟化硫和硫化氫，以及一個電源和其他各種配件。該系統還具有可調氣體流速，每分鐘可設置0.1至100立方厘米，以及可調氣體流動模式，允許控制沈積或蝕刻角度。該單元附帶軟件，允許定制蝕刻和沈積參數，以及控制機器和監測其性能。軟件還有一個圖形用戶界面，可以方便地操作ANELVA COSMOS I-1201。總體而言，COSMOS I-1201是一種精確且用途廣泛的反應堆，適用於半導體工業中的各種工藝，如蝕刻和沈積。其設計非常適合高質量、低體積的工作。它也相對簡單和易於操作，使其成為那些需要快速有效地執行其流程的人的有用工具。