二手 CANON / ANELVA FC-3100 #9292992 待售

CANON/ANELVA FC-3100是一種先進的垂直電化學蝕刻反應器，專為高通量光刻蝕刻工藝而設計。該設備旨在為用戶提供高端點精度和關鍵的均勻性間隙覆蓋。該系統包括一整套功能，以滿足MEM和集成電路制造的高精度需求。CANON FC-3100有一個電化學蝕刻單元，其中將一個鉑化鈦陽極和一個不銹鋼陰極放入一個鉑化鈦分布板中。陽極和陰極連接到直流電源，允許電流在它們之間傳遞。控制電流密度、曝光度和電解質成分，使用戶可以精確蝕刻成厚厚的光刻膠層。ANELVA FC-3100包括一個高效蝕刻的高通量石英反應器.該反應堆一次最多可容納四個150毫米晶片，允許高產。反應器室設計為保持工藝條件，具有良好的溫度控制，導致所有晶片均勻蝕刻。該機還具有集成的過程監控功能。這包括一個惰性氣體註入工具和計算機控制的數據記錄，使用戶能夠優化他們的過程和保持優秀的關鍵缺口覆蓋。總體而言，FC-3100是一種先進的垂直電化學蝕刻反應器，具有多種功能，可幫助用戶實現高通量、精密蝕刻工藝。它配備了高效的石英反應堆、惰性氣體註入控制、計算機控制的數據記錄以及過程監控能力，使用戶能夠在整個蝕刻過程中實現高端點精度和臨界均勻性間隙覆蓋。