二手 CANON / ANELVA FC 7100 #9383066 待售

CANON/ANELVA FC 7100是一種用於矽加工行業的微加工反應堆，通常是半導體和光電應用。該系統將電子束蒸發器、聚焦離子束（FIB）蝕刻和化學氣相沈積（CVD）工藝結合成一個高度自動化和易於使用的工具，非常適合各種復雜的制造任務。該系統利用大功率電子柱將材料蒸發到基板表面。電子束是聚焦的，提供了對材料沈積的精確控制。此過程可用於將金屬薄膜沈積到基板上,從而在芯片上形成互連或電線。CANON FC 7100還能夠將多層材料沈積到基板上以創建3D結構。ANELVA FC7100還為制造更精細的結構提供了聚焦離子束（FIB）蝕刻能力。這個過程非常適合在基板表面制作各種圖案。FIB過程使用帶電離子束從基板表面蝕刻材料。這可用於在芯片表面上創建納米結構或陣列。最後,CANON FC7100系統還提供化學氣相沈積（CVD）功能.CVD是一種用於將材料薄膜沈積到基材上的工藝。此過程用於內存設備以及其他應用程序。FC7100允許材料在基板上的精確和高度控制沈積。這一增加的精度層確保了CVD過程成功。綜上所述，FC 7100微加工反應堆是制造復雜半導體和光電器件的有力可靠工具。它結合了電子束蒸發器、FIB蝕刻和CVD功能,采用單刀具方法,確保成功制造過程所需的高精度材料沈積和蝕刻。