二手 CANON / ANELVA FC 7100 #9400031 待售

CANON/ANELVA FC 7100是為半導體制造而設計的高性能反應堆。與傳統反應堆相比，它采用獨特的圓柱形流動設計，成本低得多，占地面積小。該反應器采用加熱的金剛石卡盤來固定晶片，為加工提供穩定一致的平面表面。CANON FC 7100特別適合處理200 mm （8英寸）和300 mm （12英寸）晶圓，具有專門的平面波扭矩電動機驅動機構，可可靠精確的陣列。它利用集成的掃描對齊器來驗證對齊和制圖過程中的準確性。這些過程可發生在高溫至900℃。此外，該反應堆還設有一個大型石英觀察端口，用於檢查微加工過程中晶圓的加工。觀賞窗還配有防反射塗層，並通過隔離的接地線連接，在移動晶片時提供全面的電氣噪聲防護。ANELVA FC7100反應堆設計具有用戶友好的界面，使操作員能夠以多達16個可調參數輕松控制或監控加工條件。它還包括一個內置的熱板加熱器，以確保在蝕刻、沈積和清潔過程中精確的溫度控制。可以根據微加工工藝的要求，在CANON FC7100中安裝多個晶片支架。例如，對於矽片應用，持有者可以安裝碳化矽板作為基礎，以提高產量並提供更好的表面光潔度。此外，佳能/ANELVA FC7100支持多個晶圓傳輸系統，包括裝載機和自動卸載機。兼容系統可以連接到主控制臺，以便於監測和重裝晶片進出反應堆。最後，FC 7100為半導體制造提供了一種高效靈活的解決方案。其紮實、人性化的設計和先進的特點，包括集成對齊器、熱板加熱器和增強的觀賞窗口，使其成為適合大小生產需求的選擇。