二手 CANON / ANELVA I-1201 CX #9150529 待售

CANON/ANELVA I-1201 CX是為各種工業應用而設計的多功能反應堆，如濺射蝕刻、半導體加工和其他表面處理操作。它是具有不銹鋼圓柱體的中型至大型反應堆，並設有圓錐形底部和傾斜頂蓋，使反應堆具有高度的穩定性和抗湍流保護。它還提供絕佳的等離子體場均勻性，確保整個表面均勻蝕刻。CANON I-1201 CX通常在超高真空環境中使用，但也可以在低真空環境中操作。具有通路5.5 kW RF電源，具有先進的工藝控制能力，可根據工藝要求調整電源。它還帶有5.5 kW的直流偏壓供應，有助於降低沈積速率。ANELVA I-1201 CX的其他特性包括石英窗、等離子體觀察端口和快門控制的工藝氣體入口，為重復一致的表面處理性能提供了出色的工藝控制和穩定性。它也有一個陽極屏蔽，保護上電極免受等離子體的影響，並允許從下電極寬大的間距來改進過程控制。I-1201 CX具有先進的功率/氣體控制系統,使操作員能夠精確控制氣體/射頻功率比以優化過程結果。它包括具有進化特性的高級診斷,如故障檢測、過程監控、安全超載和其他相關特性。高級診斷還允許操作員優化工藝參數，以提高效率和產品質量。CANON/ANELVA I-1201 CX是一種用途廣泛、堅固可靠的反應堆，旨在確保一致的表面處理操作，即使在最苛刻的工業應用中也是如此。它的耐用性和靈活性使其成為中型至大型工業加工作業的理想選擇。其先進的技術和安全特性使其成為各種表面處理的可靠、經濟的解決方案。