二手 CANON / QUESTER APT 4800 #9251318 待售

CANON/QUESTER APT 4800是用於生產半導體和平板顯示器的先進生產工具。該反應器既有冷凍框架激光束濺射沈積/蝕刻工藝，也有脈沖激光熱退火工藝。它提供了無與倫比的準確性、精確度、吞吐量和可擴展性。CANON APT 4800的激光束濺射沈積工藝采用聚焦激光束，非常適合在表面制造高度均勻的介電、金屬和金屬氧化物材料薄膜和層。它可以沈積厚度在0.5至100微米之間的薄膜。激光束在生產多層薄膜時混合氣體和離子。與傳統的濺射方法相比，這可以提供更好的膠片質量和均勻性。QUESTER APT 4800的脈沖激光熱退火工藝具有廣泛的腔室壓力和溫度，以確保以前常規退火系統無法達到的均勻性和可重復性水平。這一工藝在晶體化合物的生產中也提供了優越的性能，可以用來制造高導電性和高質量的薄膜，具有極好的可重復性。APT 4800是一種通用的生產工具。它可以快速地將薄層和厚層沈積到具有高度均勻性和可重復性的基板上，同時提供優越的薄膜質量。此外，它調整工藝之間參數的能力導致生產成本效益高。此外，其生產具有復雜光學和電學特性的先進薄膜結構的能力使其成為先進顯示和二極管制造的理想工具。