二手 CSD EPITAXY EpiPro 5000 #293771200 待售
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ID: 293771200
優質的: 2008
EPI Reactor
(2) Susceptors, 6"
PILLAR RF Generator, 250 kW
PILLAR Heat exchanger
UPS
NORCIMBUS TCS Minibubbler
Gases: HCL, H2
N2 Purge
Gases dopant 1: PH3 / H2 Mix
Gases dopant 2: B2H6 /H2 Mix
Aux dopant: PH3 / H2 Mix
Belljar station
2008 vintage.
CSD EPITAXY EpiPro 5000是專為先進光電器件制造而設計的最先進的外延反應堆。其獨特的模塊化設計允許方便的安裝和靈活的配置，以滿足各種技術需求。該反應堆經過專門設計，可實現用戶友好操作，同時優化以達到最大性能。外延反應器采用特別設計的多氣流閉環溶液，使工藝室保持在最佳環境。在三區設計中實現了精確的溫度線性化，實現了對摻雜劑通量性能的精確控制。反應堆具有自動摻雜通量控制，最高溫度為1250 °C。該工藝室還有一個可移動的襯裏，使維護和清潔更容易。EpiPro 5000配備了自動提載設備，用於將晶片安全、快速地轉移到工藝室內。數字控制系統易於使用，並允許對氣流、溫度和壓力進行精確設置。此外，先進的脈沖石英單元允許用戶在任何給定時間調整工藝參數，以提高工藝穩定性。CSD EPITAXY EpiPro 5000具有可定制的屏蔽氣體,可防止FOD（異物碎片）汙染。恒壓率機保持密封密室，將泄漏率降至最低，優化加工環境。腔室內壁為不銹鋼，提供耐用性和優異性能。EpiPro 5000還具有全面的安全工具,可隨時確保安全運行。資產包括溫度和壓力傳感器，以及多個警告燈和停止燈。實時監測確保反應堆在運行過程中保持峰值狀態。直觀的軟件和控制模型還允許用戶遠程監控和操作CSD EPITAXY EpiPro 5000。總之，EpiPro 5000是一種用途廣泛的反應堆，具有可靠和用戶友好的特點，具有無與倫比的精度和性能。先進的特性和可定制的操作參數使這種外延反應器成為先進光電器件制造的絕佳選擇。
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