二手 INTEVAC LithoPrime #9181440 待售

INTEVAC LithoPrime是一個先進的反應堆，旨在通過顯著減少制造集成電路所需的時間來顯著提高半導體制造效率。開發這項技術的目的是為了消除生產復雜設備的多個過程步驟的需要，從而降低生產過程的復雜性，並為集成電路制造商提供滿足其需求的快速、高效的解決方案。LithoPrime反應堆采用圓柱形設計，采用集成膨脹室，可精確控制工藝環境。這是通過使用冷卻氣源和速度控制系統來實現的。反應堆配有光學檢測系統和先進的溫濕度傳感器，確保整個生產過程中處理參數保持精確控制。為了優化通量,可以精確控制反應室內的壓力.INTEVAC LithoPrime設計用於與多種沈積技術兼容，如化學氣相沈積（CVD）、濺射和反應性離子蝕刻（RIE）。這個用途廣泛的加工平臺非常適合各種材料，從矽基材料和非易失性存儲器到厚膜半導體和石墨烯。除了無與倫比的加工能力，LithoPrime還提供高效的氣體註入流量和精確的溫度控制。由於反應堆的快速冷卻系統，加工時間明顯減少，加熱的腔室允許前體氣體的有效利用。該反應堆還具有擴大的基板尺寸，可用於較大的基板加工應用，以及一層一層的制造工藝，能夠有效地形成結構復雜的裝置。INTEVAC LithoPrime的潛力巨大，其使用已經在改變半導體生產的格局。這座高度先進的反應堆為制造商提供了提高的產量、更高的吞吐量和改進的工藝控制。對於希望增強生產能力的制造商來說,這是一個完美的解決方案。