二手 INTEVAC Matrix #9288407 待售

INTEVAC Matrix是專為半導體晶圓和先進材料的加工而設計的高效且具有成本效益的反應堆。它具有較大的基板表面積和改進的溫度均勻性，以實現嚴格的工藝再現性。惰性真空環境允許在高溫和高速下運行，因此，反應堆能夠以比手動溶劑處理系統短得多的周期時間運行。在它的心臟，矩陣是一個排他性的，全石英雙真空室設備。腔室系統結合了超高真空（UHV）主腔室和反應性二級腔室。這種雙室技術允許對晶圓加工進行精密的控制。一次室用於物理氣相沈積和蝕刻，二次室則裝有RF感應加熱單元，可用於高-k和低-k電介質等材料的熱處理。這種雙室架構還消除了對轉移機的需求，從而提高了生產率，降低了運營成本。INTEVAC Matrix的設計考慮到安全性。所有操作條件和警報記錄都可以使用車載遙測工具進行遠程監控。反應堆還配備了互鎖和自我診斷系統，旨在降低接觸有害物質的風險。在硬件方面，Matrix配備了原位端點監控資產、自動晶圓監控、快速冷卻模型、增強型射頻感應加熱設備、改進的壓力控制系統以及完全集成的自動化裝載單元等功能。所有這些功能結合在一起,可提供可靠且用戶友好的計算機,從而簡化流程周期並縮短整個流程時間。INTEVAC Matrix用途極為廣泛，與多種高級工藝配方兼容。它具有廣泛的工藝化學性質，如熱氧化、氮化物沈積、濺射蝕刻和光刻。總而言之，Matrix是一個先進高效的反應堆，非常適合半導體和其他先進的材料加工。它高效的設計使得它非常適合隨時間推移過程的可重復性。INTEVAC Matrix旨在安全可靠地運行,同時為用戶提供一套全面的特性和功能。它是實驗室和生產設施要求卓越的工藝重復性和可重復性的理想選擇。