二手 INTEVAC Vertex Spectra Y09 #293626646 待售

INTEVAC頂點光譜Y09是一種高功率電子束HF-CVD（熱絲化學氣相沈積）反應器，用於各種材料的沈積，包括銅、銅合金和銅鈷合金。該反應堆采用了兩種獨立同時運行的電子束槍，結合了一種新穎的預成型等離子體源。這些特性使精密工程的半導體薄膜以高通量沈積，沈積速率變化最小。該反應器利用真空室中產生的三個獨立的熱源，提供了最終的工藝靈活性水平。預先形成的等離子體源提供高功率、穩定的放電，能夠沈積均勻、精密設計的薄膜，表面粗糙度最小化。這也可以更好地控制薄膜的生長速度和化學潛能，因為它能夠在沈積過程之前氧化底物表面。電子束噴槍能夠提供高達37千瓦的功率，具有高發射電流密度，可以在高沈積速率下沈積高長寬比薄膜。這導致高調的薄膜在其底層上粘附良好，具有極低的缺陷密度。電子束槍還提供了高水平的可控性，在設定工藝參數時給予用戶充分的靈活性。可加工層厚度為10 nm至1 μ m,最小粒度為1 μ m。頂點光譜Y09的腔室尺寸為直徑500毫米x 580毫米高，內部體積大氣為典型的5 mTorr。以高壓3400 L泵為動力，提供了快速的真空泵送速度和提高的腔室壓力穩定性。氣體進氣口在腔室頂部，有線性隧道晶片傳遞機制用於晶片加載。INTEVAC Vertex Spectra Y09提供了一個復雜、用戶友好的基於PC的軟件,該軟件具有自動參數設置,便於過程設置。此外,它還為大容量數據存儲提供了高容量內存,便於監視和分析過去的流程性能。該設備還符合標準安全和環境法規,包括CE和ISO 13485認證。Vertex Spectra Y09為研究和制造應用提供了靈活、高質量的沈積工藝。