二手 JEL / JUSUNG SDP_ALD_SIN #9282351 待售
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JEL SDP_ALD_SIN是一種化學反應器,將固定床的整體式基板與較大的熱交換面積結合在一起。該反應器專門用於II-VI復合半導體膜的成膜加工。它被用於多種互聯網和電信元件,如光子和光子器件的介電膜、有源元件的鈍化層、光學薄膜過濾材料等。這個反應堆由一個有石英頸部的氧化鋁管、一個加熱器、一個儲罐、一個進氣口外殼、一個石英晶體管和一個真空密封組成。項鏈通過沿著石英管運行由前體分子組成的流體進入反應堆來充當前體。這個反應堆使用一個叫做原子層沈積(ALD)的過程,將一層材料沈積在管子上。石英晶管充當高溫爐,將反應堆內部溫度提高到300至400攝氏度,具體取決於應用情況。這允許前體分子吸附到石英管上,形成薄膜。進氣出口殼體和真空密封允許產生小於10-8 Torr的真空,以便進行該過程。加熱器還允許對爐子進行精確的溫度控制,使沈積的薄膜能夠得到精確的控制和監控。該反應堆能夠沈積非常薄的材料層,薄至1.2埃的層能夠沈積。材料在管子整個表面積上的均勻沈積也是可能的,允許得到均勻精確的薄膜。此外,反應堆具有較高的沈積速率,允許快速處理時間。JUSUNG SDP_ALD_SIN反應器非常適合各種材料的薄而均勻的薄膜沈積,是電信和互聯網組件的理想選擇。這種反應堆的易用性和成本效率使得它成為那些希望快速和精確地沈積材料薄膜的人的首選。
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