二手 KOREA VACUUM TECH KVCVD-2006L #293654718 待售

ID: 293654718
PECVD System.
KOREA VACUUM TECH KVCVD-2006L是一種先進的化學氣相沈積(CVD)反應器,設計用於研究和生產。這是一種多功能、高效的設備,適用於一系列沈積過程和材料。它具有水平矩形石英反應管,典型真空壓力為10-2至10-5 torr。系統分為兩節;一個真空室和一個氣體分配單元。真空室裝有由耐久密封的石英玻璃墻制成的反應管。這確保了實驗運行期間的高水平光學傳輸。反應管設計為高能效,具有較大的有效面積和墻壁絕緣,使機組能夠實現更高的通量。氣體分配裝置配有一套氣體流動閥和調節器,以確保在CVD過程中精確輸送所需的前體。它還配備了四極質譜儀,能夠實時監測引入反應堆的氣體。反應堆進一步自動化,配有一個微控制器和幾個溫度和壓力傳感器以及監測器,以調節反應管內的溫度和壓力水平。與其他CVD沈積系統相比,KVCVD-2006L具有幾個獨特的優勢。它易於操作,需要最少的維護,並且能夠處理各種沈積過程。此外,利用四極質譜儀的快速反應精度,研究人員能夠準確監測CVD工藝中使用的氣體成分。此外,為了提高沈積過程的均勻性和可重復性,對反應器室進行了絕緣。總體而言,KOREA VACUUM TECH KVCVD-2006L是一種先進的CVD反應堆,具有許多特點,使其適合各種沈積技術和材料。機器的大反應管面積允許快速、高效的處理時間,而四極質譜儀和隨附的傳感器則提供對前體的精確監測,以精確控制沈積的材料。該反應器操作方便,維護最少,是CVD沈積的理想裝置。
還沒有評論