二手 LAM RESEARCH 839-019090-632 #293662521 待售

LAM RESEARCH 839-019090-632是半導體工業中用於原子沈積的一種等離子體蝕刻反應器。它由一個圓柱形腔室組成，內部有兩個電極，下部電極和上部電極，間隙很小。腔室內填充有氣體混合物，典型的是包括氙氣、氧氣和氮氣，並被排空至低壓。在兩個電極之間施加射頻功率，在兩者之間引發等離子體。這種產生的等離子體會轟擊腔壁，造成原子的蝕刻和沈積，最終改變腔內物質的層和結構。該系統能夠處理300毫米至150毫米不等的各種不同晶片，並提供多種工藝選擇。反應堆還配有兩個負載鎖，一個冷卻器和150毫米至300毫米的能力。它配備了高頻射頻發電機和電源，先進的診斷，先進的功率控制和各種傳感器。高級診斷程序提供了一些工具,可以精確控制等離子體參數。該反應堆的設計考慮了性能和可靠性，可根據不同的用戶要求進行定制。腔室采用不銹鋼制成，設計時考慮到最高安全標準。電極由鋁酸鎢構成，對等離子體轟擊具有彈性。該反應堆還具有先進的過程控制功能，這意味著它能夠自我調整以優化和可重復地提供嚴格的過程參數窗口。839-019090-632是一個用途廣泛、功能強大的反應堆，非常適合研發和生產蝕刻。其先進的過程控制確保了一個可重復的過程，對等離子體參數的精確控制，並最終獲得高產率。它還與最先進的安全和質量標準兼容,並確保各種應用程序的可靠性和性能。