二手 LAM RESEARCH Altus Max #293610297 待售

LAM RESEARCH Altus Max是一種化學氣相沈積（CVD）反應器，設計用於高級邏輯應用的先進晶圓廠變換。憑借先進的工藝控制和自動化能力，Altus Max可以處理高介電常數（high-k）和低介電常數（low-k）材料。LAM RESEARCH Altus Max集成了FastEx Advanced Edge™功能,該功能提供卓越的質量和可重復性,並具有高溫和更高效的沈積速率等高級工藝控制功能。此功能有助於提供超高性能材料,增加規模和吞吐量,同時最大限度地提高產量和設備可靠性。Altus Max還具有自動晶片裝卸功能，具有符合人體工程學的晶片幹擾站和用於連續操作的氣閘系統。輕巧、高精度的機器人手臂提供高效的自動化物料轉移。LAM RESEARCH Altus Max還提供了流程窗口管理PWM™軟件的靈活性。此軟件使用戶能夠自定義和監視流程參數,以及實時監控和趨勢批量性能。它為控制沈積均勻性和汙染保護提供了一系列備選方案。Altus Max最大限度地提高了晶圓吞吐量和利用率,同時采用高生產率ECP工藝和大規模並行CVD技術。LAM RESEARCH Altus Max憑借其獨特的流程靈活性級別,提供了極致的流程可擴展性,同時還提供了卓越的晶圓廠轉換功能。此外,Altus Max還提供出色的安全功能,旨在滿足所有全球安全標準。操作員界面設計方便的導航和直觀的導航，以幫助管理過程參數。LAM RESEARCH Altus Max是業界領先的反應堆,提供前所未有的吞吐量、性能和可靠性。憑借其先進的過程控制和自動化功能,Altus Max提供了高級自動化和控制,以提供最高級別的性能、規模和吞吐量。