二手 LAM RESEARCH Altus Max #293610302 待售

LAM RESEARCH Altus Max是一種高度先進的反應堆，用於處理用於制造各種集成電路和器件的半導體晶片。Altus Max憑借其先進的金屬有機化學氣相沈積（MOCVD）技術,提供了卓越的性能和能力。它采用單一源方法，即單一前體進料系統同時輸送源氣體和載氣，從而形成更加統一和穩定的工藝。LAM RESEARCH Altus Max附有專有的晶圓裝載盤，可進行原位交換和更快的裝填時間。它還具有一個通用接收器，它可以容納不同的晶圓大小和工藝配置。敏感器可提高整個晶片的溫度均勻性,提高工藝產量和吞吐量。為了降低風險並保持高產率,Altus Max配備了一個鎖載室,可消除手動裝載帶來的潛在汙染。此外,它的分離絕緣串行（DIS）過程控制系統自動優化了過程條件,使可重復結果的最大運行可重復性達到3西格瑪。LAM RESEARCH Altus Max提供卓越的易用性。其直觀的圖形用戶界面（GUI）提供了過程參數的清晰指示,從而減少了手動調整的需要。此外,它還內置了用於快速傳輸配置數據的配方庫。Altus Max專為長期可靠性而設計,配備了一個獲得專利的自動晶圓傳輸臂,用於安全裝卸。它還包括一個提供準確維護和跟蹤設備性能的自我診斷系統，允許用戶對維護任務進行優先排序，以最大限度地提高正常運行時間。LAM RESEARCH Altus Max是一個最先進的反應堆，提供卓越的工藝和屈服性能，最佳的工藝控制，極好的易用性和可靠性。它設計用於各種先進的半導體制造工藝，提供高質量的結果和一致的、可重復的性能。