二手 LAM RESEARCH Altus Max #293625737 待售

LAM RESEARCH Altus Max是一種先進可靠的感應耦合等離子體（ICP）反應堆設備，旨在支持廣泛的科學和工業應用。它具有先進的技術和可定制的選擇，可用於從蝕刻、沈積、薄膜生長和鈍化到光學薄膜沈積和化學氣相沈積的各種過程。Altus Max的特點是eChamber™，是ICP反應堆的革命性和必不可少的組成部分。這一專利設計允許用戶從三條均勻功率曲線中選擇一條，從而對等離子體過程進行精確控制。該室具有良好的電氣分離工藝，即使具有高功率水平，並具有一個成熟的氣流設計，以平滑和穩定維護所需的等離子體參數。在有大量工藝氣體的情況下，該工藝可以很容易地根據任何應用程序的要求進行定制。LAM RESEARCH Altus Max還包括一個獨特的氣體註入系統。這一專利設計允許在一次運行中同時控制多個氣體，允許在優化吞吐量的同時精確調整等離子體參數。還提供壓力控制，以確保等離子體的精確調制。Altus Max配備了先進的監控能力。觸摸屏顯示可輕松訪問所有流程參數,而集成的數據記錄和配方管理軟件則可精確控制流程設置和參數。該單元還包括氣體分析儀和質譜儀能力，允許對工藝環境進行精確控制和分析。LAM RESEARCH Altus Max是一種先進、靈活、可靠的ICP反應堆機器。憑借其獲得專利的eChamber™和氣體註入系統，它為尋求精確和可重復過程控制的科學家和工程師提供了廣泛的選擇。憑借其集成的監控功能和多種氣體選項，它甚至可以輕松處理最困難的應用。