二手 LAM RESEARCH Altus Max #293804671 待售

LAM RESEARCH Altus Max是一種高性能等離子體增強型化學氣相沈積（PECVD）反應器，專為先進的材料沈積應用而設計。適用於多種工藝，包括高沈積速率和厚度可達5 nm的超薄層。該設備采用先進的源設計，對多種氣體具有獨立的氣流、壓力和溫度控制。先進的工藝控制可為要求苛刻的薄膜應用實現三維均勻性。Altus Max提供集成的硬件和軟件功能,用於優化過程控制。它具有最大正常運行時間的大線路負載、用於快速過程分析的最大Tempo™軟件以及用於靈活系統控制的模塊化體系結構。該單元還包括一個具有集成介質源的inno@mapper™ C1控制器，以及用於過程控制和測量的各級集成。LAM RESEARCH Altus Max是按照最高安全標準建造的，機器包含多種安全特性，如壓力和溫度監測、自動停機、可燃氣體探測器等。該工具旨在通過最小化停機時間和維護來提供可靠的過程控制。Altus Max提供了多種售後模塊,包括一個可選的機器人解決方案以提高效率和冗余度,一個用於實時過程控制的電離儀和一個用於小型功能尺寸的大腔室。它還具有各種源和基板配置，包括單室和多室系統，以滿足特定的應用需求。LAM RESEARCH Altus Max還設計了模塊化體系結構,從單室到四室資產不等。通過其集成軟件，該模型提供了快速、準確和穩定的過程參數控制，這對於實現一致的產品性能至關重要。集成軟件還允許數據記錄、過程優化和自動配方。總體而言，Altus Max是一種可靠、用戶友好的PECVD反應堆，專為高調的先進材料沈積應用而設計。其先進的源代碼設計、快速的過程控制、集成的自動化軟件和廣泛的售後模塊使其成為許多行業的理想選擇。