二手 LAM RESEARCH Altus #293814196 待售

LAM RESEARCH Altus是一種經過創新工程設計的反應堆，旨在在蝕刻和沈積過程中達到最佳性能。為材料的精確沈積和基板均勻性提供了更強的溫度和壓力控制.此外，它的通用技術平臺使先進蝕刻和沈積技術的集成能夠為給定的工藝提供最佳的組合。Altus的特點是一個緊湊的，完全封閉的反應堆，能夠支撐許多不同的蝕刻和沈積配方。它提供無湍流編碼，內部產生的壓力，和優越的蝕刻和沈積速率，由於高精度和可重復性。該反應堆采用機器人友好、密封的機櫃和內置的過程控制功能，使部署和集成變得簡單。LAM RESEARCH Altus用途廣泛、可靠，設有三個獨立的腔室，可設置用於幹蝕刻、濕蝕刻和原子層沈積（ALD）。腔室的設計增加了工藝的靈活性，允許沈積幾種不同的材料而無需重新鑒定。自適應處理軟件同時運行預定義的和專有的處理算法,以提高生產率、縮短周期時間並確保改進的流程性能。反應堆控制系統具有高精度的溫度和壓力控制，能夠抵抗壓力意外，並提供統一和可重現的過程。此外,Altus還利用集中式流程數據庫來管理操作過程中記錄的信息並存儲配方。集成軟件可配置為通過電子郵件將系統警報直接發送給操作員,以處理任何重大流程事件。LAM RESEARCH Altus是一個先進的蝕刻沈積反應堆，旨在為各種蝕刻和沈積過程提供最高性能、準確性和可重復性。通用的流程控制系統提供了卓越的可重復性，並消除了對流程重新認證的需求。憑借用於配方管理的集成流程數據庫和內置的流程控制功能,Altus提供了最高效率和更高的生產率。