二手 LAM RESEARCH Altus #293818161 待售

LAM RESEARCH Altus是為薄膜沈積中的質量均勻性而設計的高效反應器。它采用自動機械平臺設計，優化蝕刻劑和氣體的分布，達到可重復的效果。Altus設計為模塊化,允許根據應用程序的生產需求添加其他模塊。它還有一個整體式機器人臂，用於精確和準確地裝載/卸載基板。LAM RESEARCH Altus反應器能夠進行廣泛的過程，包括熱和等離子體過程，如化學氣相沈積（CVD）、等離子體增強CVD（PECVD）、物理氣相沈積（PVD）、物理氣相氣相沈積（PVPD）、以及電氣相沈積。其獨特的設計和特點使其能夠提供高精度和均勻性的基材蝕刻。阿爾特斯反應堆有廣泛的參數，可以調整以適應不同的工藝需求。它利用復雜的軟件來精確控制每個過程的操作參數。它還包括一個機載安全設備，以保護用戶免受潛在危害。反應器由陽極截面和陰極截面組成。陽極部分由一個導電板組成，該導電板包含用於沈積的化學前體。陰極部分包含產生等離子體源的電極，該等離子體源轟炸陽極部分以啟動沈積過程。LAM RESEARCH Altus反應堆還包括化學輸送系統和快速反應單元。化學輸送機為過程提供正確的反應性氣體，而快速反應工具則提高了過程速度。這些系統共同實現了更高的吞吐量和更短的周期時間。最後，阿爾特斯反應堆還設計了原位監測能力，使其能夠監測化學或反應參數的任何變化，使其能夠相應地進行補償。此功能有助於確保過程保持在最嚴格的公差範圍內,從而確保始終如一地實現高質量的一致性和可重復性。