二手 LAM RESEARCH C3 Altus Ice Mod #293646584 待售
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LAM RESEARCH C3 Altus Ice Mod是一種等離子體反應器,旨在方便薄膜沈積在底物上。這是一個革命性的設備,使用一個高度先進的射頻(RF)等離子發生器和強大的真空系統,使環境非常適合薄膜的形成。它非常適合沈積氮化矽、二氧化矽或其他類似薄膜等材料。C3 Altus Ice Mod使用強大的基於逆變器的電源來激活過程氣體。這種氣體是通過氣體控制單元引入的,其霧化和反應,也導致產生等離子體。然後將這種等離子體輸送到沈積室,在那裏它在到達基質之前經過一個等離子體支配區域。為了確保最佳沈積,等離子體氣體被快速脈沖,從而在基板表面實現均勻分布。此外,Altus ICE Mod還提供了一系列操作0-4000Hz,可實現最佳的重新濺射,提高材料沈積速率並提高表面的均勻性。此功能有助於降低整個沈積過程的成本。Altus ICE Mod還具有雙腔室光學元件,允許用戶同時監控沈積和等離子體過程。這使他們能夠識別沈積過程中可能發生的任何問題,並采取適當的糾正措施。此外,該機還配備了一個內置抽油機,用於監測沈積室中的壓力,以確保該過程達到最佳效果。總體而言,LAM RESEARCH C3 Altus Ice Mod是一種高度先進的等離子體反應堆資產,采用了最新的射頻等離子體發生器技術,使用戶能夠有效地將優質薄膜沈積在多種基板上。它提供高工作速度和功率,除了雙腔室光學器件的最佳材料沈積和泵控制的優化壓力。
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