二手 LAM RESEARCH C3 Ice mod #293659339 待售

LAM RESEARCH C3 Ice mod是一種高效、低成本的等離子體蝕刻反應器，能夠精確蝕刻薄膜和金屬材料。它是一種緊湊、經濟高效的設備，設計用於制造半導體和其他電子產品。C3 Ice mod的電源能夠產生高達650°C的高溫等離子體，是高溫退火、精密金屬蝕刻和陽極膜沈積的理想選擇。該系統由四個組件組成,即模塊化接口控制器（MIC）、大型機、模塊化電源（MPS）和兩個離子源控制單元（ISC）。MIC是負責單位整體控制和自動化的中央處理單位。負責控制和監控過程溫度、壓力、氣流和壓力、電源調整等所有機器參數。主機包含腔室組件、真空泵、冷卻子系統、安全系統、離子束源等。MPS負責產生用於蝕刻過程的低壓高溫等離子體。ISC單元負責產生高電流等離子體光束和冷卻基板。LAM RESEARCH C3 Ice mod設有兩個真空室，最多可容納六個基板。該工具與各種蝕刻氣體化學物質相容，如氧氣、氙氣、氮氣和氯氣。它能夠以1微米的精度控制特征的蝕刻深度和深度。C3 Ice mod擁有自動輸送氣體的資產，用於精確控制蝕刻氣流。它還有一個可調節的射頻發生器，用於等離子體參數的精確控制，如壓力、溫度和離子束加速度。LAM RESEARCH C3 Ice mod還配備了光學發射光譜和質譜等一系列診斷儀器。這樣可以準確測定蝕刻速率、蝕刻深度、基材厚度、薄膜附著力、電氣特性和其他工藝參數。C3 Ice mod效率高、性價比高，在高端半導體器件的生產中提供了極好的重復性和準確性。