二手 LAM RESEARCH CONCEPT 2 Speed Sequel #9394296 待售

LAM RESEARCH CONCEPT 2 Speed Sequel（C2SS）是為高通量表面處理應用而設計的先進準大氣大氣壓力等離子體反應堆（APP Reactor）。該C2SS采用獨特的雙相等離子體技術工藝，兩個不同的工藝同時發生，每個工藝為基材提供不同的好處。C2SS反應堆有一個雙相等離子體發生器，可以對等離子體體系進行優化的過程控制。該過程的第一階段是一個低壓的基於射頻的等離子體，用來從過程氣體中生成帶電的粒子雲。然後在第二相高壓DBD等離子體中使用這種雲。高壓相作用於增加帶電粒子雲的密度，導致更好的接觸和改進的處理深度。C2SS反應堆有1至10升的可調工藝室容積。這樣可以處理各種基板,從小型元件到尺寸為200 mm x 300 mm或更大的大型零件。反應堆還有一個雙串聯過濾系統，它可以去除任何不需要的粒子，以保持反應堆運行到其峰值效率。C2SS反應堆能夠處理各種材料，包括塑料、金屬、陶瓷、填充塑料和復合材料。該工藝可用於表面處理應用，如清潔、蝕刻、表面激活和修改。它也可用於沈積過程，如屏障和防靜電塗層的應用。C2SS反應堆可以集成到生產線中，從而實現更具成本效益的運行。該C2SS也是一種可靠且易於維護的生產工具。直觀的用戶界面允許快速設置和輕松的故障排除,而內置的安全系統提供了總體安全操作。綜上所述，LAM RESEARCH C2SS是一個最先進的大氣壓力等離子體反應堆，具有獨特的雙相等離子體技術過程。該C2SS具有多種工藝選擇、可調腔室體積和過濾系統，可靠性高、維護方便，是表面處理和沈積應用的理想高通量解決方案。