二手 LAM RESEARCH DSM 9900 #293587928 待售

LAM RESEARCH DSM 9900是一種先進的等離子體蝕刻反應器，用於加工矽、聚酰亞胺、玻璃甚至某些金屬等各種材料。該裝置采用最優質的部件和制造技術，以確保高等離子體產生能力和可重復、可靠的操作。LAM RESEARCH 9900以其獨特的化學能力，能夠以架構和微地形蝕刻廣泛的結構。LAM RESEARCH 9900是一種比例蝕刻反應器，利用安全的閉環控制系統和低溫冷卻，對所有材料進行高效、高速的等離子體蝕刻。該裝置設計成以低頻或高頻模式運行，在蝕刻過程中提供靈活性和精確度。電源、反應堆室、惰性氣體、蝕刻物種、摻雜劑等工藝部件均獨立控制優化，確保加工準確、可重復。DSM 9900反應堆是一種用途廣泛的蝕刻設備，允許加工不同的基材和材料，具有廣泛的幾何形狀。該系統結合了精密的氣體控制、陶瓷泵送口和整體式晶圓處理組件，提供了最高水平的穩定性和均勻性。該單元還提供了一個具有自動診斷功能的高級監控機器,可確保獲得最佳效果。LAM RESEARCH DSM 9900反應堆是為矽、銅甚至金等硬質材料需要最高產量和吞吐量的客戶開發的。這種工業級工具提供了對所有過程變量的完全控制和監控，確保了最高的產量和準確性。資產的多種可用功能和多種操作模式使其成為從基本到復雜的任何蝕刻應用程序的理想解決方案。此外,該型號與各種外圍設備兼容,可以集成到更大的工藝生產線上。