二手 LAM RESEARCH Dual Sola Excel #9316183 待售

LAM RESEARCH Dual Sola Excel是一種高效、優化的熱反應熱壁反應器，設計用於蝕刻和沈積過程。它是一個兩室反應器，一室專用於蝕刻，另一室專用於沈積。這些室由一個三壁陶瓷室隔開，該室容納一個薄膜源。這通過消除源與工藝室之間的直接接觸來確保最大效率。反應室被高反射率的不銹鋼保形罩所覆蓋，以達到最大效率。反應室還具有用於等離子體室的陽極和陰極，以及用於引入摻雜劑和蝕刻劑氣體的規定。該工藝容器由具有頻率控制的磁性攪拌器攪拌，以確保工藝的均勻性。該工藝容器具有內置氣體疏散系統，使工藝容器能夠在工藝前後進行疏散。Dual Sola Excel專為高通量蝕刻和沈積工藝而設計，生產水平高，蝕刻率低。它非常適合在半導體制造過程中蝕刻和沈積二氧化矽等材料的薄膜。雙腔室能夠有效地進行過程管理，從而保持正確的蝕刻或沈積過程。加熱系統確保整個熱反應室的溫度均勻。熱反應器由精確溫度控制系統封閉，確保反應室內溫度一致。它也可以被遠程監控，允許出色的控制和便利。LAM RESEARCH Dual Sola Excel還設有集成射頻發電機，允許使用發電機進行各種蝕刻和沈積過程。冰箱采用氮氣加壓，允許溫度範圍為-60至120攝氏度。也可用於金屬蒸發，具有精確的濕度和溫度控制。總體而言，Dual Sola Excel是半導體工業中用於蝕刻和沈積過程的高效、精確的熱角色反應器。它使用戶能夠準確地監視和控制流程,確保一致、最佳的流程結果。它也適用於金屬蒸發，可以與多種材料配合使用。