二手 LAM RESEARCH Dual Sola Excel #9379269 待售

LAM RESEARCH Dual Sola Excel是一種先進的等離子體反應器，用於蝕刻、沈積和表面處理等各種加工應用。雙Sola Excel反應堆設計效率高，成本效益高。為基材的快速可靠加工提供了堅固的加工室。反應堆易於使用，包括多種特性，使其成為過程開發和生產加工的強大工具。LAM RESEARCH Dual Sola Excel提供高級自動化選項,使其能夠輕松集成到現有系統中。它的特點是一個atomix發生器，使精確的氣流控制準確和可重復的過程。它還通過其雙Unterberg電源提供了擴展的多功能性,允許提供最多兩個工藝室的靈活性。反應堆配置性強，可以適應廣泛的應用。它配備了磁控管和線圈源，以確保等離子體分布均勻，其真空容器被設計用於快速泵降和優越的基板清潔。它還能夠結合多條供氣線路，使得工藝之間的切換速度更快、效率更高。Dual Sola Excel還具有一系列安全功能，如集成的緊急停止和自動減壓閥。它還通過了ETL和CE認證,以提高安全性。反應堆可以與附近的安全設備有效互鎖，以提供額外的保護。總體而言，LAM RESEARCH Dual Sola Excel是一個先進、性價比高、安全的等離子體反應堆。其多種特性使其非常適合用於各種加工應用，從開發到生產。它提供了高效、均勻的等離子體分布，其安全特性使其成為在任何環境中運行的可靠和安全的工具。