二手 LAM RESEARCH Inova NExT #9350861 待售
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LAM RESEARCH Inova NExT是一種低能、先進的等離子體反應堆，能夠制造先進的電子設備。Inova NExT專為下一代芯片制造而設計，如三維（3D）晶體管和閃存。它具有高分辨率、低溫和高產率制造平臺的增強過程控制功能。LAM RESEARCH Inova NExT配備了射頻（RF）發生器和支持平行雙面晶片處理的氧氣（O2）等離子體源。其多源、多頻發生器可實現精確的等離子體沈積和蝕刻過程。Inova NExT的高效氣體輸送設備在晶圓表面保持低殘留氣體，消除顆粒和減少應力，允許均勻和可重復的薄膜沈積剖面。LAM RESEARCH Inova NExT反應堆利用多種高分辨率光學傳感器和探頭進行實時過程監測。其電探針感應和顯示過程溫度、壓力和濺射速率。其先進的過程控制功能可實現精確的過程步驟優化和總體產量改進。Inova NExT采用高度可靠、低維護的真空泵系統設計，用於從腔室收集氣體。流線型氣體輸送裝置保持對氣體流量和數量的良好控制，有助於減少汙染。其屏蔽射頻機保證了均勻沈積，保證了控制硬件不因EMI而損壞。LAM RESEARCH Inova NExT的自潔操作有助於保持工藝室的清潔和無汙染物。其重型腔室結構采用300系不銹鋼制成，具有優異的腔室熱容量和均勻性。Inova NExT腔室尺寸可以定制以適合任何制造工藝。LAM RESEARCH INOVA NExT可以配備可變角度晶圓旋轉、實時角度視圖和晶圓級傳感器，用於溫度、壓力和氣流，以及腔內的多個活動溫度區域，以進行更大的溫度控制。它是為長期可靠的操作而建造的，能夠支持可重復、高產的制造工藝。
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