二手 LAM RESEARCH Inova #293594356 待售
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LAM RESEARCH Inova是一種先進的蝕刻設備，用於矽片的精密加工和微電子器件的生產。它是現有的最新工具，也是唯一一種具有溫度控制能力的工具，具有無與倫比的準確性和生產率。該系統利用超純度氣體，如K、氙和氧，以令人難以置信的精確度和控制力蝕刻掉矽層。Inova的特點是一個連接在反應堆容器上的閉環離子源和一個IOES（離子光能源），輔以一個具有獨特磁性清潔單元的輔助頂架。這臺機器有助於分離納米顆粒和汙染物，同時保持安全的工作環境。IOES工具還提高了短距離和高深度蝕刻過程的吞吐量,確保兩個過程保持嚴格的控制和準確性。LAM RESEARCH Inova資產還配備了先進的安全機制，保護其及其部件免受超壓、材料過度暴露以及人為失誤的危害。它采用特殊金屬設計，以金屬密封和關閉閥門，確保模型保持在一個安全和最佳的壓力。此外,對法蘭進行了優化,使漏氣保持在最低限度。Inova設備還采用了掃描抗蝕劑蝕刻（SRE）技術，該技術使用獨立的抗蝕劑塊來精確、安全地控制蝕刻深度。這有助於防止錯誤的發生並確保更高的收益率。SRE有助於隨時間推移保持非常一致的蝕刻速率,從而實現完全的一致性,這是設備生產的關鍵。除了精度和精確度外，LAM RESEARCH Inova還以可靠性和低維護要求而聞名。耐腐蝕性強，使用壽命長。該系統不需要過度清潔，可以方便操作多年而不會出現並發癥。Inova是一種功能強大且用途廣泛的蝕刻工具。先進的安全機構、卓越的精確度和精確度，以及裝置的長壽命，確保它是矽行業中最好的工具之一。它是任何微電子器件生產或晶圓制造工藝的理想工具。
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