二手 LAM RESEARCH Inova #293597136 待售

LAM RESEARCH Inova是為精密等離子體蝕刻和灰化應用而設計的蝕刻/灰化設備。它具有先進的PECVD（等離子體增強型化學氣相沈積）系統、雙溫度能力和廣泛的蝕刻或灰化配方。該裝置具有出色的均勻性和可重復性,可用於蝕刻或灰化晶片。它還有一個先進的光學照相機，在蝕刻或灰化過程中監視晶片，並允許在蝕刻或灰化條件下實時反饋。Inova 蝕刻器/asher工具被設計為等離子體蝕刻和灰化的低成本、高性能資產。它有一個自動氣體密度控制模型，允許精確調整等離子體環境，以便可靠的蝕刻或灰化結果。PECVD設備通過提供精確控制、嚴格控制的等離子體環境,在晶片上提供均勻的蝕刻或灰度處理。LAM RESEARCH Inova具有雙溫度功能,用戶可以快速輕松地選擇蝕刻或灰化應用所需的精確溫度。雙溫度選項允許精確控制蝕刻或灰化過程。Inova還具有先進的光學照相機系統，在蝕刻或灰化過程中監視晶片。這允許對蝕刻或灰化條件進行實時反饋,並向用戶提供有關蝕刻或灰化過程的詳細信息。LAM RESEARCH Inova提供了廣泛的蝕刻或灰化食譜,為用戶提供了一系列不同的蝕刻或灰化選項。它還具有自動盒式磁帶體系結構,可提高吞吐量、減少停機時間並改進蝕刻或灰化數據的播放。這使得用戶更容易微調條件以獲得最佳蝕刻或灰化結果。Inova設計用於高溫和高真空過程，如等離子體蝕刻和灰化。它旨在提供最高級別的準確性、可重復性和均勻性,同時為用戶提供一系列蝕刻或灰化選項。LAM RESEARCH Inova具有先進的特點和配方,是任何蝕刻或灰化工藝的理想選擇。