二手 LAM RESEARCH Inova #293597139 待售

LAM RESEARCH Inova是一款為先進半導體器件制造而設計的高性能蝕刻/asher設備。這種最先進的系統是為基板的大批量加工而設計的，具有高通量、密閉腔室的生產設計。它具有氣體和等離子體誘導蝕刻的內置能力，非常適合各種先進的蝕刻應用。伊諾娃的腔室設計由兩個用陶瓷絕緣體隔開的真空室組成，可以並行處理。此功能可實現優化的吞吐量和最大的流程靈活性。提供了一個額外的離子源腔室，以實現等離子體蝕刻或離子誘導的材料去除。通過其自適應腔室設計，該單元可以實現高水平和低水平的蝕刻配方具有很高的靈活性。機器的硬件包括一個具有激光樣各向異性的準直源，提供了最高的蝕刻速率，高效的基板清洗和最高質量的蝕刻輪廓。這與一系列集成模塊結合在一起，包括反應室、電源、氣體和/或等離子體源、負載/卸載工具、溫度和壓力控制以及視覺系統。LAM RESEARCH Inova專為快速輕松地裝載基材而設計,完全集成的安全資產（包括讀卡器）有助於在生產過程中保護工藝配方。Software for Inova平臺使用戶能夠從單個GUI控制模型的各個方面,包括負載鎖定控制、配方開發、運行控制和過程優化。該軟件還可用於遠程監控、故障排除、性能優化和統計過程控制。總體而言，LAM RESEARCH Inova是專門為大批量基板加工而設計的先進蝕刻器/asher設備。該系統硬件和軟件的結合，以及集成的安全性和先進的腔室設計，使其成為高級和低級蝕刻配方的理想選擇。憑借其多功能性和強大的性能,Inova非常適合一系列高級蝕刻應用。