二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Altus #9241208 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Altus是一種高級氣體集群工具（GCT），用於先進的半導體蝕刻應用。此工具用於批量生產和大型加工要求。它能夠在各種基板上產生復雜的形狀和特征，包括光致抗蝕劑、金屬和絕緣體。NOVELLUS Altus GCT利用多個工藝源在工件上產生高縱橫比特征和結構。工藝源包括一對單晶片、自偏晶片腔，產生單獨定制的感應耦合等離子體羽流（ICP）。這樣就可以在較大的蝕刻區域，而不需要額外的源和氣體供應系統。自偏晶片室能夠同時處理多種基板，可以獨立改變每個工件的功率設置和氣體流量。這允許對蝕刻輪廓進行精確的過程控制。功率和氣體輸送也可以根據正在加工的材料和所需的蝕刻輪廓進行調整。LAM RESEARCH Altus GCT還配備了控制和計量設備以確保一致性。采用單一光譜儀監測蝕刻物種類，量化工藝的均勻性。該系統使用照相機和雙視圖光學器件來測量氣流、腔室壓力和蝕刻速率。Altus GCT具有高度自動化的工藝配方創建和驗證單元,適用於所有蝕刻層和特征形狀。此機器可確保蝕刻輪廓符合每個基板所需的參數。最後，LAM RESEARCH/NOVELLUS Altus GCT配備了用戶友好的圖形用戶界面。這樣可以方便地進行參數調整和過程控制。操作員還可以使用GUI實時監控操作狀況和審核蝕刻結果。NOVELLUS Altus是半導體行業高級蝕刻應用的高端工具。它能夠在單個或多個基板上提供卓越的蝕刻效果，並且設計用於批量生產和大型加工要求。它具有高度自動化的流程配方創建和驗證工具、雙視圖光學、光譜監控和用戶友好的GUI。